Jornal de Ciências Teóricas e Computacionais
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Abstrato

Propriedades elétricas do silício poroso para sensor de gás N2

Mahmood Bahar, Hamideh Eskandari e Naghi Shaban

A aplicação de silício poroso (PSi) para dispositivos sensores de gás tem ganho considerável atenção na última década. Este trabalho considera as características elétricas de camadas de PSi preparadas por ataque eletroquímico. Verificámos que para obter uma melhor compreensão das propriedades de absorção da superfície do PSi, é necessário saber como a morfologia do PSi depende dos parâmetros de ataque. A estrutura física do PSi, ou seja, a porosidade e a distribuição do tamanho dos poros, podem ser controladas alterando a concentração de ácido fluorídrico, a densidade de corrente, o comprimento da anodização e o tempo de gravação no procedimento de anodização. Descrevemos o nosso sistema de teste para sensores de gás e investigamos o comportamento elétrico das camadas de PSi (tipo p) no gás N2 para várias condições de fabrico. Os resultados mostram que a densidade de corrente aumenta significativamente à medida que o gás N2 é adsorvido. As medições das características IV foram realizadas à pressão atmosférica, temperatura ambiente e também com gás N2.